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実験装置

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- TEM
- 透過型電子顕微鏡
【加速電圧】80,100,120,160,200 kV　【倍率】標準モード時最大850 k倍
【軸合わせ】電磁2段連動式【絞り】20,40,70,120,200 μmφ【電子線傾斜】最大4°
- SEM
- 走査型電子顕微鏡
【分解能】5 nm(電圧30kV時)【観察可能試料】最大125 mm 【分析機能】EDS
- ARM
- 原子分解能分析顕微鏡
【分解能】走査透過暗視野像：最大72 pm　透過像：最大110 pm
【倍率】走査透過像：200～150M　透過像：50～2000k【試料】3mmφ
球面収差補正機能、EDS、EELS、デジタルCCDカメラシステム搭載
- イオン加速器
- 高エネルギーイオン発生装置
【ターミナル電圧範囲】0.1 - 1.0 MV　最大ビーム電流⁴He²⁺0.5 μA、⁵⁸Ni³⁺2.0 pμA
【分析機能】ラザフォード後方反乱、反跳粒子分析、粒子励起X線分析
【照射機能】イオン照射等により数百dpaの重照射　【照射温度範囲】室温～800℃
- FIB
- 集束イオンビーム加工装置
【イオン源】Ga【レンズ】2段静電式レンズ【倍率】70～90,000倍
【加速電圧】最大40 kV【像分解能】6 nm【加工速度】1.0μm³/s
- ION SLICER
- イオンスライサ
【加速電圧】1～8kV【ミリングスピード】5μm/min【使用ガス】アルゴンガス
- ナノインデンタ
- 微小押し込み試験機
【試験荷重レンジ分解能】最大0.004 mgf　【オフセット荷重レンジ】最大0.001 mgf
【変位計】範囲-10～10 μm　分解能0.3 nm
- TDS
- 昇温脱離装置
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